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直供??!EBARA荏原 半導(dǎo)體用干式真空泵

直供??!EBARA荏原 半導(dǎo)體用干式真空泵 EV-S30P
池田屋實業(yè)優(yōu)勢供應(yīng) ,并提供報價圖片

  • 更新時間:2025-03-21
  • 產(chǎn)品型號:EV-S30P
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 訪  問  量:69
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聯(lián)系電話:0755-22220216

產(chǎn)品詳情

直供??!EBARA荏原  半導(dǎo)體用干式真空泵    EV-S30P

直供??!EBARA荏原  半導(dǎo)體用干式真空泵    EV-S30P



EV-S型

節(jié)能、節(jié)省空間的干式真空泵

節(jié)能
緊湊輕便
耐腐蝕材料選項
提供 N2 吹掃型號
不同頻率下性能相同(50/60Hz)
無油
符合 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 要求

產(chǎn)品介紹

我們的轉(zhuǎn)子設(shè)計和空轉(zhuǎn)功能實現(xiàn)了高水平的節(jié)能和緊湊性。這有助于降低運行成本。

此外,還提供耐腐蝕材料選項,可用于廣泛的應(yīng)用,從輕負(fù)載應(yīng)用(例如負(fù)載鎖和 SEM)到腐蝕過程。


規(guī)格

模型單元EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
抽氣速度升/分鐘1,6701,6703,3003,3005,0005,00010,00010,00020,00020,000
極限壓力350.51.00.50.50.50.50.50.5
連接尺寸進(jìn)氣
NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
排氣口
NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40
極限壓力下的近似功率值千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
冷卻水流動升/分鐘1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
溫度最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮氣流動帕•立方米/秒-17–20 (2.4)-17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
電源相位/電壓/頻率200V 型號
三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz
400V 型號
三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz--三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz
供電容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
近似質(zhì)量公斤60609090100100120120170170



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